Aan de wieg van de vruchtbare samenwerking met ASML

Gerrit Kroesen onderhoudt al jaren een nauwe band met de chipmachinefabrikant

Lees meer

Aan de wieg van de vruchtbare samenwerking met ASML

Met een afspraak om gezamenlijk een 10-jarige strategische onderzoeksroutekaart te ontwikkelen en plannen voor een nieuwe cleanroom verstevigden ASML en de TU/e onlangs de nauwe band die al tussen de chipmachinefabrikant en de universiteit bestond. Het is een resultaat van een langdurige en intensieve samenwerking, die zo’n vijfentwintig jaar terug gaat in de tijd. Oud-decaan van de faculteit Applied Physics Gerrit Kroesen stond aan de wieg van de vruchtbare vriendschap en fungeert nog steeds als “een soort olie in de raderen.” Of, zoals hij het zelf noemt: “een oliemannetje”.

door
foto Angeline Swinkels

Het was rond 2000 dat de eerste promovendus van Applied Physics (en de TU/e) een promotieonderzoek deed in samenwerking met ASML.  Erik Kieft onderzocht (met Joost van der Mulen als begeleider en Gerrit Kroesen als promotor) verschillende bronnen om Extreem UV-licht (EUV) op te wekken – dat bleek tin – en promoveerde cum-laude. ASML kreeg op haar beurt kennis in huis die het bedrijf tot op de dag van vandaag toepast in de ontwikkeling van de nieuwste EUV-machines. Kieft opende zonder het door te hebben de deur voor vele toekomstige TU/e-promovendi en een structurele samenwerking was geboren.

Het is volgens Gerrit Kroesen niet verrassend dat ASML juist in die tijd meer interesse kreeg voor de TU/e, want net toen begon het bedrijf met de EUV-technologie waarin het later monopolist in werd. Voor die technologie waren plasma’s nodig, vertelt Kroesen. “Dat was gemakkelijk shoppen in Nederland. Er waren twee partijen die ze daarmee konden helpen: het FOM-instituut voor plasmafysica Rijnhuizen in Nieuwegein, wat nu DIFFER is, en onze groep.” Op het gebied van plasmafysica bleef ook na het promotietraject van Kieft nog genoeg te onderzoeken voor de universiteit. Zo bleek dat in de machine waar de EUV-bundel op wordt gewekt het achtergrondgas dat daar rondzweefde geïoniseerd werd, ook dat gas werd een plasma. “Daar lag een technologisch, maar ook plasmafysisch vakgebied open waar we ingestapt zijn. En daar zijn we nu nog mee bezig, dat is nog lang niet klaar. De interactie tussen de bundel straling in de machine en het achtergrondgas en alles wat in de machine aanwezig is: dat is een onderwerp waar veel achtergrondkennis voor nodig is.”

Zou je kunnen zeggen dat het eerste onderzoek van Kieft bijna vijfentwintig jaar aan onderzoeksmateriaal heeft opgeleverd?

“Ja, we zijn al die jaren doorgegaan. Er is nu weer een nieuw onderwerp bij gekomen, dat gaat over de verontreiniging door kleine stofdeeltjes. Het blijkt dat de plasma’s daar gekke dingen mee doen. Het stof wordt elektrisch opgeladen en vervolgens gedeponeerd op plekken waar je het niet wilt hebben. Daar zit nu het brandpunt van onze aandacht. Op welk deelgebied je samenwerkt varieert dus en hangt ook af van hoe ver je samen met een onderwerp al bent gekomen. De grootste fout die je als universiteit bij zo’n samenwerking als deze kunt maken is halsstarrig vasthouden aan je eigen onderwerpen. Je moet flexibiliteit en begrip voor andere partijen hebben om gezamenlijk aan iets te kunnen werken.”

Maar je kunt als universiteit dan toch besluiten om zelfstandig op een onderwerp door te gaan als je dat interessant genoeg vindt?

“Dat kan, ja, maar wat je dan doet is een product maken terwijl er geen klant voor is.”

Daar ben je toch een universiteit voor?

“Ja, maar de TU/e is ook een technische universiteit die luistert naar wat nodig is in de maatschappij en industrie. Dat motiveert ook. Als je weet dat je onderzoek relevant is voor de samenleving dan geeft dat veel voldoening. Het is een wisselwerking die aan beide kanten goed onderzoekswerk oplevert. Dat betekent niet dat we ons primaire doel als onderwijsinstelling uit het oog verliezen: dat is mensen opleiden. Onderzoek dat we doen faciliteert het opleiden van mensen. Je kunt dus wel alleen maar onderzoek doen dat – in ieder geval op termijn – publiceerbaar is.”

Komt het weleens voor dat er ontdekkingen gedaan worden die niet publiceerbaar zijn?

“Soms moet je besluiten om bepaalde resultaten niet op te nemen in een proefschrift. Het gebeurt best geregeld dat er sommige dingen niet in staan of later worden toegevoegd omdat er eerst een patent moet worden aangevraagd. Wat hierbij helpt is ervaring en een goede verstandhouding. Als een promovendus hier op iets stuit waarbij intellectual property relevant wordt, dan gaan we met ASML in gesprek over hoe dat beschermd kan worden. Soms worden dingen dan gepatenteerd. Door hen of door ons. Het komt ook voor dat de universiteit het patent aanvraagt en later verkoopt aan ASML. Je moet daarover wel in dialoog blijven en zorgen dat er voor beide kanten muziek in zit. Het is geen eenrichtingsverkeer. Het is een voortdurend spel om de technische behoeftes van ASML te vertalen naar goed academisch onderzoek. Dat doe je gezamenlijk.”

Ik werkte als een soort bruggenbouwer om te zorgen dat iedereen elkaar bleef vinden

Al die tijd is het dus gelukt om daar samen uit te komen, hoe komt het dat die relatie zo goed is?

“Je moet rekening met elkaar houden en soms een keer de extra mile gaan als je weet dat iets voor de ander belangrijk is – ook al is het dat voor jezelf niet zo. Die balans was van het begin af aan goed. We praten ook veel met elkaar. Er zijn samenwerkingsprojecten waarbij elke twee weken een vergadering is met alle mensen van ASML en de universiteit die daarbij betrokken zijn. Ik zit daar zelf ook vaak bij. Toen ik decaan was had ik minder tijd, maar ook toen deed ik mijn best om er te zijn. Dat wil niet zeggen dat ik bij alle projecten betrokken ben, dat zijn er inmiddels zo veel dat ik de tel ben kwijtgeraakt. Ik schat dat er alleen bij onze groep al vijf of zes promovendi rondlopen die deels door ASML gefinancierd zijn en dan zijn er nog een hoop studenten die er afstuderen of stagelopen. Ik probeer wel een algemeen overzicht te houden en meer naar het strategische deel te kijken. Daar zijn meer stafleden van de TU/e mee bezig, maar ik word er wel regelmatig bijgehaald.”

Is dat omdat je al zo lang meeloopt?

“Dat denk ik wel. Dat feit is ook belangrijk geweest voor de totstandkoming van de recente overeenkomst. Ik kan heel precies aanwijzen waar die ontstond. Het begon met een bijeenkomst die was belegd door collegevoorzitter Robert Jan Smits, die had het toenmalig hoofd van Research bij ASML en andere belangrijke figuren bij elkaar geroepen. Er zaten ook decanen bij van relevante faculteiten. Mijn rol in het geheel was zorgen dat we elkaar zouden blijven verstaan. Ik weet hoe mensen bij het bedrijf denken en wat ze verwachten van dit soort onderzoek.”

Wat verwachten ze dan?

“Ze maken snel de switch tussen een fundamenteel wetenschappelijk iets en een heel concreet item in de machine en de productie daarvan. Dat tempo is iets wat je moet zien bij te houden. Die ervaring had niet iedereen bij de onderhandelingen, dus ik werkte als een soort bruggenbouwer om te zorgen dat iedereen elkaar bleef vinden. Als een soort olie tussen de raderen: een oliemannetje. Uiteindelijk zijn tijdens die eerste bijeenkomst een stuk of vier onderwerpen genoemd waar ASML belangstelling voor had. Die onderwerpen staan nu ook in de overeenkomst: dat zijn plasmafysica, optica, artificial intelligence en mechatronica. Vooral bij optica en artificial intelligence werd ik er soms bij geroepen, bij mechatronica was dat niet zo nodig, omdat die ook al lang met ASML samenwerken.”

Net zo lang als Applied Physics?

“Ik heb laatst opgezocht wanneer de eerste promotie van mechatronica in samenwerking met ASML was. En wij waren eerder (lacht). Maar op dat vlak wordt zeker veel samengewerkt. Maarten Steinbuch zegt weleens terecht dat de waferstage van ASML het meest geavanceerde stuk technologie op aarde is. Daar heeft hij denk ik gelijk in. Dat is een ding waar een plak van 30 cemtimeter - koekenpanformaat - silicium op ligt. Dat beweegt met enkele keren de zwaartekrachtversnelling, dus met enorme snelheden, en moet met nanometerprecisie gepositioneerd worden. Dat zijn bijzonder extreme dingen. Logisch dus dat ASML ook bij mechatronica kennis kwam tanken, zoals ze dat bij ons met plasmakennis deden. Op beide gebieden zijn er ook deeltijdhoogleraren van ASML op de universiteit.”

Mijn telefoonnummer is niet bij veel mensen bekend, maar wel bij de sleutelfiguren binnen ASML

Jij hebt zelf ook een tijdje bij ASML rondgelopen, toch?

“Dat klopt, dat was rond 2009, ongeveer een jaar lang. Nederland zat in een economische dip, ASML ook. Toen kwam er een soort kenniswerkersregeling: een constructie waarbij de overheid bedrijven hielp als ze mensen stationeerden bij universiteiten. We dienden daarvoor gezamenlijk verschillende voorstellen in die allemaal gehonoreerd werden. Dat ging om meerdere miljoenen. Volgens de constructie van die subsidiepot werd ik de leidinggevende van twintig werknemers van ASML. Ik nam dat heel serieus. Ik wilde met iedereen praten, zodat ik in ieder geval wist waar mensen mee bezig waren en vond het ook gewoon leuk om daar een dag in de week te zijn. Ik sprak op zo’n dag met acht verschillende mensen, die konden zich ervoor inschrijven en dat was ook altijd volgeboekt. Wat ik overigens heel sterk vond van ASML, was dat ze, in tegenstelling tot veel andere bedrijven, niet op research bezuinigden. In die tijd hadden ze nog maar een kwart over van hun normale inkomsten, maar toch bleven ze innovatief bezig. Dat was strategisch heel sterk, maar voor mij ook heel motiverend om voor zo’n gezamenlijk programma te gaan.”

Het klinkt als een jarenlang zeer intensief contact met ASML.

“Dat is het ook. Er zijn telkens nieuwe mensen gekomen maar ik kon met iedereen wel goed opschieten. Er is al jarenlang een goed bilateraal contact. We bellen elkaar ook als dat nodig is. Mijn telefoonnummer is niet bij veel mensen bekend, maar wel bij de sleutelfiguren binnen ASML. Ze weten dat ik niet graag gebeld word, dus bellen ook niet zomaar. Die benaderbaarheid, elkaar de tijd geven en weten wanneer er opgenomen moet worden: dat is er al wel zo’n twintig jaar. We weten dat we elkaar kunnen vertrouwen.”

Maakt jouw bijdrage aan de nieuwe samenwerking je trots?

“Ja, wel trots, maar niet overdreven trots. Ik heb het ook niet in mijn eentje gedaan. Het is wel iets wat ik al lang wilde, zo’n structurele samenwerking. Ik droomde van een soort gezamenlijk technologie-instituut en dit is daar wel een soort versie van. Dat het recentelijk ook nog verrijkt is met plannen voor een nieuwe cleanroom voelt al helemaal als kers op de taart. Met een fysieke samenwerking en gezamenlijke faciliteit kun je meters maken.”

Blijf je ook in de toekomst betrokken?

“Ik ben nu geen decaan meer en over twee jaar ga ik met pensioen. Daar heb ik niet zoveel zin in, maar zo is de wet nou eenmaal. Ik ga de komende twee jaar zoveel mogelijk bijdragen om deze samenwerking goed neer te zetten, maar ik ga ook zaken aan anderen overdragen. Ik heb zelf geen formele rol meer in geheel en wil mijn opvolger ook absoluut niet voor de voeten lopen. Ik ga dit op zo’n manier doen dat als ik met pensioen ga, dat pijnloos is en niemand er last van heeft. Je moet er bij dit soort dingen voor zorgen dat je eigen stempel niet te nadrukkelijk is. Dingen zijn succesvol als ze de ‘baby’ van iemand zijn, waar iemand zich mee vereenzelvigd. Ik moet zorgen dat die baby’s er komen, maar dat anderen daar de ouders van zijn.“

Een beetje zoals een verloskundige?

Lachend: “Zoiets ja.”

Deel dit artikel