Op zulk speciaal papier als waarop ik maandagmiddag aantekeningen maak, heb ik nog nooit geschreven. Het is lichtblauw en superglad. Het is het enige papier dat de cleanroom in mag, want de vezels zullen niet loslaten en door de lucht gaan dwarrelen.

We mogen, van top tot teen ingepakt, kijken naar de dure apparatuur die er in de loop der jaren verzameld is. Het Nanolab bestaat twee decennia en heeft al nieuwe toekomstdromen. Over twee jaar is het een – zelfstandig - onderdeel van de nog te bouwen ASML cleanroom en wordt het anderhalf keer zo groot. “Het is al een pareltje”, zegt Erwin Kessels, hoogleraar Plasma & Materials Processing, die weet dat collega’s uit de hele wereld  ervan staan te kijken, “maar het kan nog mooier.”

Wanneer we bij de machine staan waarmee depositie en etstechnieken kunnen worden uitgevoerd, zaken die ons bij de inleiding in Flux zijn uitgelegd, vertelt Kessels dat die ongeveer een miljoen euro heeft gekost. “Maar wat een lelijk apparaat. Kan er voor dat geld geen aandacht naar het design?”, zegt communicatiemedewerker Cindy de Koning. “Het gaat ons erom dat we kunnen zien wat erin gebeurt. Ons hart gaat hier wel harder van kloppen”, antwoordt Kessels ad rem.

We blijven overal even staan: de ionenversneller, de speciale microscopen om wafers te bekijken, en het lab voor ‘natte chemie’. Kessels had al verteld over de vijf stappen in de fabricage van chips, nu zien we met eigen ogen wat er bij komt kijken. Het maakt indruk, net als de temperatuur (constant 21 graden) en de herrie van de afzuiging.

Hoe houd je een cleanroom schoon, wil iemand weten. De lucht gaat in ‘down flow’ naar omlaag en wordt door de gaatjes in de vloertegels geperst. We mogen ook in de kelder kijken waar niet alleen die lucht wordt gefilterd, maar ook alle resten van de gassen die gebruikt worden bij het opdampen weg worden gevoerd. En het laserlicht wordt hier gemaakt. Vraag me niet hoe.

Het lab moet een grotere naamsbekendheid krijgen, vinden ook student Mick Gielen en docent Harm Knoops. Gielen kwam met het idee voor de rondleiding. “Dat we in Nederland chips kunnen maken is van groot belang, op geopolitiek en economisch gebied. Ik wil graag dat leerlingen van de middelbare school te horen krijgen wat je aan de TU/e kunt leren over semiconductor-gerelateerd onderzoek”, zegt het lid van het studentenvoorlichtingsteam.

Docent Knoops noemt zich ‘kind van de regio’. Hij is TU/e-alumnus, werkt nu bij Oxford Instruments en geeft een dag in de week les aan natuurkundestudenten hier. ”De trends bij chips maken is dat alles kleiner wordt, dat er meer 3D wordt gewerkt en dat er steeds meer materialen worden gebruikt.” Die trend is waar te nemen als jet het blog van Kessels leest op Atomic Limits, een website voor gevorderden.